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        5. 飞秒激光制备微澳门金沙娱乐官方网站元件及其利用

          作者:曹小文、张雷等 来源:中国激光 时光:2019-05-22 08:49 浏览:1253 [投稿]
          飞秒激光加工是一种无接触、高精度的微纳光电器件加工办法,具有情况请求低、对材料无选择性、加工灵活、精度高等特点,可以在几近随便任性材料上实现超衍射极限和高复杂构造加工,极大年夜丰富了微澳门金沙娱乐官方网站元件的制备种类。

          随着现代工业与科学技巧的成长,人们已渐渐进入到信息化时代。信息技巧的快速成长请求一个完全的信息体系能在尽可能小的空间内实现尽可能多的功能,这就请求实现各类功能的器件尽可能地小,向小型化、微型化偏向成长。微澳门金沙娱乐官方网站元件具有体积小、重量轻、设计制造灵活、制造本钱低,并易于实现阵列化和批量化临盆等长处,可以或许实现通俗澳门金沙娱乐官方网站元件难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技巧、光计算等范畴具有重要的利用价值。

          飞秒激光加工是一种无接触、高精度的微纳光电器件加工办法,具有情况请求低、对材料无选择性、加工灵活、精度高等特点,可以在几近随便任性材料上实现超衍射极限和高复杂构造加工,极大年夜丰富了微澳门金沙娱乐官方网站元件的制备种类。环绕飞秒激光加工技巧,研究者们在各类材料外面、内部制备出了不合类型、不合功能的微澳门金沙娱乐官方网站元件,极大年夜地推动了微澳门金沙娱乐官方网站的成长。

          飞秒激光直写技巧

          飞秒激光直写技巧的加工道理如图1所示,主如果经过过程一些澳门金沙娱乐官方网站元件将飞秒激光聚焦在材料外面或内部,合营三维位移平台,实现随便任性复杂构造的制备,CCD及时不雅察体系重要用来进行核心对准和对加工过程进行及时不雅察。


          图1.飞秒激光直写技巧加工示意图

          飞秒激光直写加工一般包含:增长材料的双光子聚合加工和去除材料的烧蚀加工。在双光子加工中,单体聚合物只有在光子密度足够大年夜的激光核心才能同时接收两个光子,实现聚合,如图2所示。2001年,Kawata等利用中间波长为800 nm的飞秒激光制备了长为10 μm、高为7 μm的纳米牛,初次从实验上实现了冲破澳门金沙娱乐官方网站衍射的超精细加工,加工分辨率仅为120 nm。


          图2.飞秒激光双光子聚合示意图

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